【日经bp社报道】应用材料公司显示事业部（akt）在10月23～25日于日本横滨举行的2013年国际平板显示器展(fpdi 2013)前不久，推出了面向8.5代、6代和5.5代高清（hd）、超高清（4k）液晶电视屏和oled显示屏的akt 55ks pecvd、akt-pivot 55k dt pvd和akt-pivot 25k dt pvd设备。10月29日，akt高管团队在北京的媒体沟通会上详细介绍了上述设备。

       55ks pecvd系统最多有5个高温处理腔室；2个进出口腔室（dssl），中间采用传送腔；双臂真空机械手。适用于2200mm×2500mm的8.5代基板，玻璃厚度在0.5~0.7mm，机械吞吐量是65片/小时。

       akt 55ks pecvd设备中，利用二氧化硅(sio2)工艺，使金属氧化物(mo)薄膜晶体管(tft)沉积电介质界面有较低的氢含量，确保金属氧化物薄膜晶体管在长期使用中，不会因氢的侵袭影响临界电压的稳定性